随着基于啁啾放大技术的高功率激光系统的发展，脉宽压缩光栅作为关键元件,其性能要求越来越高，尤其是激光损伤阈值和衍射效率。对于用于高功率激光系统中的光栅而言，制备过程中带来的表面杂质污染将导致强烈的激光吸收以致光栅损伤，因此清洗掉光栅的表面污染对光栅的抗激光损伤性能提升有着举足轻重的意义。
本研究系统对比了SPM+兆声清洗和氧等离子体+HPM+兆声清洗两种清洗方法对实验室制备的多层介质脉宽压缩光栅的清洗效果，通过X射线光电子能谱测试，衍射效率测试，原子力显微镜，表面温升测量，激光损伤测试评估这两种清洗方法的优劣。
结论
本文详细研究了多层介质膜脉宽压缩光栅的两种常用清洗方法 ， 即SPM(98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆声(方法1)和氧等离子体+HPM(37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆声(方法2)。通过测试清洗前后表面元素含量变化，衍射效率，表面粗糙度，连续激光表面温升以及激光损伤阈值，可以发现经过方法1清洗后样品的抗激光损伤性能、表面温升、表面粗糙度和衍射效率优于方法2清洗后的样品。虽然方法2清洗后样品表面具有更低的杂质含量，但是氧等离子体灰化去胶过程中所引入的Fe元素是降低光栅抗激光性能的关键因素。
因此 ， 对于多层介质膜脉宽压缩光栅，SPM(98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆声的清洗方法能够保证光栅样品表面洁净度和衍射效率的前提下更能提升其抗激光损伤性能，是一种比氧等离子体+HPM(37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆声清洗方法更简便更有效的清洗方案。
