超声波清洗技术最早出现于20世纪30年代早期，由美国新泽西州的美国无线电公司技术人员研究提出。国外超声波清洗设备种类繁多，超声波清洗设备应用领域非常广泛，各种超声波清洗设备不断推陈出新。高频超声波清洗技术在国外超声波清洗设备中所占比重非常大，用来清洗微小芯片，可以把0.15μm的污染物清洗掉。我国的超声波清洗技术方面研究相对较早，超声波清洗技术发展快速、应用广泛，清洗技术综合利用方式也多样化:一个是从单缸机到多缸机或自动化的超声清洗生产线;另一个是从低频超声清洗机到高频超声清洗机方式。
（1) 聚焦式清洗:可以在局部区域发生高强度的超声波，工作频率有15，20，28kHz。聚焦式清洗方式可以弥补普通超声波清洗方式由于超声波能量不够而引起的清洗不彻底。
（2) 超声振动清洗:是超声波通过变幅杆和振动头传送到需要清洗的物件上，最后由于高速振动物件表面污染物脱落实现清洗效果。这种新方法和普通超声波清洗方法的不同点是不需要清洗液。
（3) 多频清洗:是由多种频率的换能器同时发生不同频率的超声波来清洗物件。不同的超声波频率对物件的清洗效果是不一样的。低频超声波清洗物件表面的污染物，高频超声波清洗内部细小的污染物，高、低频配合使物件清洗干净。
（4) 扫频和跳频清洗:二者都有改善超声波清洗容器内超声场的结构。扫频可以改善清洗容器内的驻波场，使物件清洗得很好。跳频和多频都可以根据实际情况选择高、低频。不一样的是，跳频是一种换能器有两种频率，根据需要选择发生那种频率。
（5) 多槽式全自动联合清洗:是多槽联合智能控制、降低劳动强度、提高综合效率的智能设备。它可以对放入清洗槽内的规格不同、材料不同、形状不同、污染程度差异的物件，根据其不同情况、不同方位发生对应的频率、功率等超声波，实现用最少的成本达到最佳的清洗效果。
（6) 兆赫级超声清洗:这种高频清洗方式的清洗原理是利用声能产生的液体流动来清洗污件的，不是传统的利用“超声空化效应”来实现清洗目的。兆赫级超声波清洗不会因“空化效应”产生强大的清洗力，因此其优点是对类似集成芯片这样体积小、容易受损的物件既能清洗得很好、也能很好地保护器件，从而在电子元件清洗领域应用非常广泛。
