超声波清洗技术经过几十年来的理论探讨和应用研究，无论是设备还是工艺均取得了较大的发展，研发出了一批先进典型的清洗工艺。
1.高频超声清洗
该技术采用兆赫兹级的高频超声波进行清洗，由于频率过高，清洗效果主要是靠高频声波带动液体产生的擦洗作用，其对污物的去除率接近百分之百，因而清洗的关键不是气泡，空化效应作用甚微。高频清洗近来发展较快，目前主要用于超大规模集成电路芯片、硅晶片、陶瓷等特种污物的清洗。
2.多频清洗
该技术采用多个不同频率的换能器，在同一液体环境中，分别与各自频率的换能器发生作用。低频超声波的强度高，有利于清洗物体表面；高频超声波空化密度高，有利于清洗凹槽、孔洞、细缝等细微结构，同时多种频率的超声波克服了单频清洗不均匀的问题。
3.变频清洗
变频清洗是为了改善缸中的声场结构，使清洗效果均匀。变频清洗兼顾到高低频清洗，与多频清洗不同的是，变频清洗用的是一只换能器和一只发生器，其换能器有两个谐振频率，在第一谐振点带宽内作连续的频率变化，然后跳到另一带宽内进行变频清洗。它是高低频交替进行清洗。
